产地/厂家:深圳天常 | 类型:标准料 |
泰科微光学公司为晶圆制造厂提供质量可靠的石英基板。
Specification
NO | ITEM项目 | TargetSper.(Fused quartz)(熔融石英) |
1 | Diameter直径 | 6″(152±0.5) |
2 | Orientation Flat定向平面 | 47.5±2MM |
3 | Thickness厚度 | 1250±50 |
4 | Edge Fom边缘形状 | Round |
5 | Chips Voids碎片空隙 | none无 |
6 | Inclusions(Purity)夹杂物(纯度) | All(<1ppm) |
7 | Strains应力 | none无 |
8 | Themal propetry热性能 | |
9 | Strain point应变点 | >1050 |
10 | anne aling Point 退火点 | >1150 |
11 | OH Content 氢氧含量 | 150~250ppM |
12 | Material材料 | Fused quartz熔融石英(JGS2) |
13 | refractive Index(@632nm)折射率 | 1.457 |